一种石墨坩埚单瓣块体再生利用的切割模具及其切割方法专利登记公告
专利名称:一种石墨坩埚单瓣块体再生利用的切割模具及其切割方法
摘要:本发明公开了一种石墨坩埚单瓣块体再生利用的切割模具,在底板上固定设置有内模与外模,所述外模与内模圆心重合,内模上安装有多个微调销钉紧固坩埚块体。本发明还公开了利用上述装置进行石墨坩埚单瓣块体再生利用的方法,将单晶硅生产过程中因R部位腐蚀减薄报废的石墨坩埚单瓣块体的两个连接断面,沿圆心向内壁旋转10°~30°角,从断面平行方向将R部位减薄的竖直断面切除,重新拼合组成一套360°角的石墨坩埚,实现石墨坩埚的再生利用。本发明的切割模具及方法,实现了减薄需要报废的石墨坩埚单瓣块体的再生利用。
专利类型:发明专利
专利号:CN201210059312.0
专利申请(专利权)人:宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司
专利发明(设计)人:陈海云;秦秀珍
主权项:一种石墨坩埚单瓣块体再生利用的切割模具,其特征在于:在底板(10)上固定设置有内模(8)与外模(7),所述外模(7)与内模(8)圆心重合,内模(8)上安装有多个微调销钉(9)。
专利地区:宁夏
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