谐振-力平衡电容式三轴加速度传感器及制作方法专利登记公告

专利名称：谐振-力平衡电容式三轴加速度传感器及制作方法

摘要：本发明公开了一种谐振-力平衡电容式三轴加速度传感器的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。其结构特征在于三轴加速度传感器由中间硅片(1)、上盖板(2)和下底板(3)组成；其中，中间硅片(1)由双端固支梁谐振器(4)、质量块(6)和支撑梁(5)、可动电极(7)和框架(8)组成。本传感器在检测原理方面的特征在于芯片平面内X轴和Y轴加速度信号采用双端固支梁谐振器(4)检测，双端固支梁谐振器(4)谐振频率的变化反映加速度的大小和方向；垂直芯片平面的Z轴加速度信号采用采用电容式敏感原理检测，并工作于闭环力平衡工作

专利类型：发明专利

专利号：CN201210059374.1

专利申请（专利权）人：中国计量学院

专利发明（设计）人：韩建强

主权项：一种谐振?力平衡电容式三轴加速度传感器，其特征在于：所述的三轴加速度传感器由中间硅片(1)、上盖板(2)和下底板(3)组成，中间硅片(1)由双端固支梁谐振器(4)、支撑梁(5)、质量块(6)、可动电极(7)和框架(8)组成；双端固支梁谐振器(4)位于中间硅片(1)的上表面，双端固支梁谐振器(4)一端固支在框架(8)上表面，另一端固支在质量块(6)的四条边上；支撑梁(5)的中性面与质量块(6)的重心在同一水平面内；四个双端固支梁谐振器(4)检测传感器芯片平面内X轴和Y轴加速度；在中间硅片(1)、上极板(2)

专利地区：浙江