一种双轴体微机械谐振式加速度计结构及制作方法专利登记公告

专利名称：一种双轴体微机械谐振式加速度计结构及制作方法

摘要：本发明公开了一种双轴体微机械谐振式加速度计结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。组成谐振式加速度计的谐振梁(1)位于衬底上表面，蟹腿型支撑梁(2)的中性面与质量块(3)的重心在同一平面。谐振梁(1)和蟹腿型支撑梁(2)通过五次光刻和三次各向异性湿法腐蚀工艺制作在同一硅片上。首先，背面光刻，有掩膜腐蚀工艺从谐振梁(1)背面腐蚀硅到一定深度。然后正反面光刻，去除腐蚀槽(8)中除谐振梁(1)和蟹腿型支撑梁(2)以外部分的腐蚀掩蔽层(9)，有掩膜腐蚀硅到另一深度。最后，去除蟹腿型支撑梁(2)正反面的腐蚀掩蔽层(

专利类型：发明专利

专利号：CN201210059387.9

专利申请（专利权）人：中国计量学院

专利发明（设计）人：韩建强;冯日盛;李琰;李森林;李青

主权项：一种双轴体微机械谐振式加速度计结构及制作方法，其特征在于：所述的双轴体微机械谐振式加速度计由谐振梁(1)、蟹腿型支撑梁(2)、质量块(3)、框架(4)、激振器(5)、检测元件(6)和金属内引线(7)组成，谐振梁(1)和蟹腿型支撑梁(2)位于质量块(3)和框架(4)之间的“口”字型腐蚀槽(8)内，一端固支在质量块(3)的侧面，另一端固支在框架(4)内壁；谐振梁(1)位于传感器芯片上表面，蟹腿型支撑梁(2)的中性面与质量块(3)的重心在同一水平面。

专利地区：浙江