基板浮起搬送方法、基板浮起搬送装置和基板处理装置专利登记公告

专利名称：基板浮起搬送方法、基板浮起搬送装置和基板处理装置

摘要：本发明提供一种基板浮起搬送方法，使浮起台中的基板的浮起高度和姿势最优化，并改善浮起用高压气体的消耗效率。该抗蚀剂涂敷装置中的浮起台(10)，在搬送方向上将在涂敷区域(MCT)的前后延伸的搬入区域(MIN)和搬出区域(MOUT)的浮起面各自划分为多个浮起区域。在这些浮起面配置有多个喷出口(12)。各个浮起区域中的高压气体的喷出压力通过喷出压力控制部能够进行独立地变化或者开启·关闭控制。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210061866.4

专利申请（专利权）人：东京毅力科创株式会社

专利发明（设计）人：稻益寿史;宫崎文宏

主权项：一种基板浮起搬送方法，其通过从浮起台的浮起面喷出的气体的压力使基板浮起在空中，并将浮起在空中的所述基板在所述浮起台上在水平方向上搬送，该基板浮起搬送方法的特征在于：将所述浮起台的浮起面划分为多个浮起区域，以根据所述基板的种类、属性或弯曲状态或所述基板的部位，使所述气体的喷出压力按各个所述浮起区域能够独立地变化，或者开启·关闭的方式进行控制。

专利地区：日本