一种静电吸盘专利登记公告
专利名称：一种静电吸盘
摘要：本发明公开了一种静电吸盘，包含：一上表面，所述静电吸盘内部设有一电极，所述电极到所述静电吸盘上表面的距离不同，所述电极同时连接直流电源和射频功率源。本发明能够补偿静电吸盘边缘的蚀刻/沉积率，从而保证静电吸盘的有效性。
专利类型：发明专利
专利号：CN201210063136.8
专利申请（专利权）人：中微半导体设备（上海）有限公司
专利发明（设计）人：陶铮;松尾裕史;欧阳亮;倪图强;尹志尧
主权项：一种静电吸盘，所述静电吸盘包括一上表面，其特征在于，所述静电吸盘内部设有一电极，所述电极到所述静电吸盘上表面的距离不同，所述电极同时连接直流电源和射频功率源。
专利地区：上海
关于上述专利公告申明 : 上述专利公告转载自国家知识产权局网站专利公告栏目，不代表该专利由我公司代理取得，上述专利权利属于专利权人，未经（专利权人）许可，擅自商用是侵权行为。如您希望使用该专利，请搜索专利权人联系方式，获得专利权人的授权许可。