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一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台专利登记公告


专利名称:一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台

摘要:本发明具体涉及一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台,属于精密测量技术领域。本发明的一种基于空气静压轴承技术的大范围高精度调倾调心装置,包括调倾平台、调倾平台座、调心平台、X向微位移发生器、Y向微位移发生器、Z向微位移发生器、X向导向装置、Y向导向装置、若干个回复弹簧;其连接关系为:将调倾平台座放置在调心平台上,未接通低压空气时二者紧密贴合。调倾平台座上放置调倾平台,调倾平台的下表面与调倾平台座的上表面为截面形状互补的表面,未接通低压空气时二者紧密贴合。本发明增大调心、调倾范围,提高调心、调倾精度

专利类型:发明专利

专利号:CN201210065215.2

专利申请(专利权)人:北京理工大学

专利发明(设计)人:赵维谦;侯茂盛;邱丽荣;王帆

主权项:一种基于空气静压轴承技术的大范围高精度调倾调心装置,其特征在于:包括调倾平台(2)、调倾平台座(4)、调心平台(5)、X向微位移发生器(6)、Y向微位移发生器(3)、Z向微位移发生器(9)、X向导向装置(16)、Y向导向装置(17)、若干个回复弹簧(18);其连接关系为:将调倾平台座(4)放置在调心平台(5)上,未接通低压空气时二者紧密贴合;调倾平台座(4)上放置调倾平台(2),调倾平台(2)的下表面与调倾平台座(4)的上表面为截面形状互补的表面,未接通低压空气时二者紧密贴合;X向微位移发生器(6)、Y向

专利地区:北京