一种(BiFeO₃)m/(La_0.7Sr_0.3MnO₃)n多层薄膜的制备方法专利登记公告

专利名称：一种(BiFeO₃)m/(La_0.7Sr_0.3MnO₃)n多层薄膜的制备方法

摘要：本发明公开了一种(BiFeO3)m/(La0.7Sr0.3MnO3)n多铁材料薄膜的制备方法。本发明采用磁控溅射法，将衬底固定，抽真空，通入一定体积流量比的氩气和氧气，将气压调整到一定值，设定衬底温度，开射频源起辉，待机器各方面参数稳定一段时间，打开样片挡板开始沉积薄膜，交替沉积4个周期后，关闭射频源，停止起辉。在STO衬底上所得样品即为[(BiFeO3)20/(La0.7Sr0.3MnO3)10]4多层薄膜。本发明的优点：工艺可控性强，易操作，成本低，制得的产物纯度高。本发明所制备的产品在信息存储、自旋

专利类型：发明专利

专利号：CN201210065339.0

专利申请（专利权）人：浙江理工大学

专利发明（设计）人：王顺利;朱晖文;李培刚;唐为华

主权项：一种(BiFeO3)m/(La0.7Sr0.3MnO3)n多层薄膜材料的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：(1)将已经清洗好的SrTiO3为衬底固定在托板上，关好各气阀后抽真空，直至真空度达到1.0×10?4Pa以上，通入氩气和氧气，调节分子泵闸板阀，将气压调整到1?3Pa；(2)设定衬底温度为700?750℃，开射频源起辉，溅射功率分别为100?110W对靶材预溅射5分钟，然后升高射频功率至115?120W进行溅射；(3)待机器各方面参数稳定后；先在SrTiO3衬底上通过溅射、沉积LSMO薄膜；然后用

专利地区：浙江