蒸发镀膜均匀性挡板专利登记公告

专利名称：蒸发镀膜均匀性挡板

摘要：本发明涉及的一种蒸发镀膜均匀性挡板，其包括中心杆和设置在中心杆上的档板本体，所述档板本体上与中心杆对称的两侧边为外凸圆弧形边，在所述外凸圆弧形边上设置有复数个钜齿口，即所述外凸圆弧形边呈锯齿状。本发明通过将外凸圆弧形边的边缘带钜齿状，调整各片产品中心点波长的一致，更好的控制每片产品的周边的各点的波长，本发明调整产品的各点波长的一致性，提高生产良率。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210066103.9

专利申请（专利权）人：赫得纳米科技（昆山）有限公司

专利发明（设计）人：张全文

主权项：?蒸发镀膜均匀性挡板，其包括中心杆和设置在中心杆上的档板本体，其特征在于，所述档板本体上与中心杆对称的两侧边为外凸圆弧形边，在所述外凸圆弧形边上设置有复数个钜齿口，即所述外凸圆弧形边呈锯齿状。

专利地区：江苏