用于运行真空涂层设备的方法专利登记公告

专利名称：用于运行真空涂层设备的方法

摘要：本发明涉及一种用于运行真空涂层设备、尤其是用于制造薄层太阳能电池的方法，其中，在使用清洁气体完成涂层腔室清洁步骤之后并且在产品制造步骤之前实施用于将扩散阻碍层涂布到涂层腔室的壁上的涂层分离步骤。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210066428.7

专利申请（专利权）人：罗伯特·博世有限公司

专利发明（设计）人：C.瓦奇坦多夫

主权项：用于运行真空涂层设备、尤其是用于制造薄层太阳能电池的方法，其中，在使用清洁气体完成涂层腔室清洁步骤之后并且在产品制造步骤之前实施用于将扩散阻碍层（15）涂布到涂层腔室（11）的壁上的涂层分离步骤。

专利地区：德国

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