标记装置、制造装置及标记方法专利登记公告

专利名称：标记装置、制造装置及标记方法

摘要：本发明涉及标记装置、制造装置及标记方法。提供能够有助于装置的小型化及基材的稳定输送的标记装置。具有多个处理装置和在多个处理装置之间输送基材的输送部。具备面临基于输送部的基材的输送路径而设置的除电部(20)和控制部，该控制部对输送部进行控制，当将基材输送于处理装置时，使输送部沿着经由除电部的输送路径(R1～R5)。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210066574.X

专利申请（专利权）人：精工爱普生株式会社

专利发明（设计）人：横泽敏浩

主权项：一种标记装置，其特征在于：具有多个处理装置和输送部，所述多个处理装置对基材进行处理，所述输送部在前述多个处理装置之间输送前述基材；具备除电部和控制部，所述除电部面临基于前述输送部的前述基材的输送路径而设置，所述控制部对前述输送部进行控制，当将前述基材输送于前述处理装置时，使前述输送部沿着经由前述除电部的输送路径。

专利地区：日本