一种利用氧化铁缓冲层制备氧化锌单晶薄膜的方法专利登记公告

专利名称：一种利用氧化铁缓冲层制备氧化锌单晶薄膜的方法

摘要：一种利用氧化铁缓冲层制备氧化锌单晶薄膜的方法，其特征是方法步骤为：（1）对单晶的Mo(110)衬底进行表面清洁处理；（2）在超高真空条件下分别对高纯的铁和锌蒸发源进行预加热，去除表面吸附的杂质和氧化层；（3）在氧气氛中将铁蒸发到Mo(110)衬底上，形成铁的氧化物单晶薄膜；（4）在氧气氛中将Zn蒸发并沉积到氧化铁薄膜上，生长成ZnO(0001)单晶薄膜。本发明的优点是：通过在Mo(110)衬底上生长一层氧化铁薄膜作为缓冲层，提高了ZnO薄膜在衬底上的结晶度和沉积率，改善了薄膜结晶相的稳定性。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210066766.0

专利申请（专利权）人：南昌航空大学

专利发明（设计）人：薛名山;李文;欧军飞;王法军

主权项：?一种利用氧化铁缓冲层制备氧化锌单晶薄膜的方法，其特征是方法步骤为：（1）制作纯净铁源和锌源：先将纯度为99.99%以上的铁丝和锌丝用酒精和丙酮进行超声波清洗后，紧紧缠绕在纯净的钨丝上，再将铁和锌这两种金属源装入并固定于超高真空室中，形成铁和锌的蒸发源，采用直流电流加热法对这两个金属源加热，以除去表面吸附的气体杂质和氧化层，从而保证蒸发出来的金属原子具有很高的纯度；（2）单晶金属衬底表面清洁处理：即在真空室内通入1×10－5Pa的O2，使金属Mo(110)衬底在800～900℃的温度下退火10分钟，再关闭

专利地区：江西