一种六硼化镨纳米线及其制备方法专利登记公告
专利名称:一种六硼化镨纳米线及其制备方法
摘要:本发明公开了一种六硼化镨纳米线的制备方法,其工艺步骤为:步骤1:称量一定量的镨源,放入石英小试管的底部,并把石英小试管放置到管式电炉的石英管中部;步骤2:把纯净的衬底放到石英板上,并把石英板置入管式电炉的石英管前驱体的下气流方向;密封石英管,充满保护和还原气体,然后对石英管抽真空;步骤3:在真空条件下以升温速率约为15℃/min加热石英管到900-1040℃,通入硼源,其流速为20-40sccm;保持10-40分钟;步骤4:最后在真空气氛下降温,直至冷却至室温;取出衬底直接观察。本方法不需要复杂的工艺条件
专利类型:发明专利
专利号:CN201210071254.3
专利申请(专利权)人:许军旗;刘江峰;许东利
专利发明(设计)人:许军旗;刘江峰;许东利;乔月凤;闫海龙;董宝平;侯广华
主权项:一种六硼化镨纳米线的制备方法,其特征在于:其工艺步骤为:步骤1:称量一定量的镨源,放入石英小试管的底部,并把石英小试管放置到管式电炉的石英管中部;步骤2:把纯净的衬底放到石英板上,并把石英板置入管式电炉的石英管前驱体的下气流方向;密封石英管,充满保护和还原气体,然后对石英管抽真空;步骤3:在真空条件下以升温速率约为15℃/min加热石英管到900?1040℃,通入硼源,其流速为20?40sccm;保持10?40分钟;步骤4:最后在真空气氛下降温,直至冷却至室温;取出衬底直接观察。
专利地区:河南
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