轮辐式多单元热敏电阻的制备方法及轮辐式多单元热敏电阻专利登记公告

专利名称：轮辐式多单元热敏电阻的制备方法及轮辐式多单元热敏电阻

摘要：本发明提供的是一种轮辐式多单元热敏电阻的制备方法及轮辐式多单元热敏电阻。包括环形基板，在环形基板上生成的介质隔离膜，布设于介质隔离膜上的金属热敏电阻膜，对金属热敏电阻膜进行刻蚀所形成的金属图案，与金属图案焊接的引线，涂覆在金属图案表面的保护层；所述金属图案延环形基板分布一周的绞线总线，绞线总线的一侧含有微小螺旋形双线感温单元，所述微感温单元的两脚与总线绞线连接处呈垂直状。本发明可实现对待测物整个平面的温度的测量，且其热敏电阻图案抗电磁干扰，对待测物不产生电磁干扰，通过连接微测温单元引脚可实现快速降低温敏原

专利类型：发明专利

专利号：CN201210073518.9

专利申请（专利权）人：哈尔滨工程大学

专利发明（设计）人：乔英杰;崔新芳;张洪泉;张晓红

主权项：一种轮辐式多单元热敏电阻的制备方法，其特征是包括如下步骤：(1)加工表面光滑的环形基板；(2)通过CVD或PVD方法在环形基板表面生长一层介质隔离膜；(3)通过化学镀或PVD的方法在介质隔离膜表面生长一层金属热敏电阻膜；(4)将金属热敏电阻膜在200?700℃真空环境下热处理；(5)将热处理后的金属热敏电阻膜采用干法或湿法刻蚀出金属图案；(6)对刻蚀好的金属图案进行调阻；(7)调阻后金属图案中总线绞线两端点焊接引线；(8)在焊接引线后的金属图案表面涂覆保护层。

专利地区：黑龙江