单晶硅生产中氩气回收纯化的方法与装置专利登记公告

专利名称：单晶硅生产中氩气回收纯化的方法与装置

摘要：一种单晶硅生产中氩气回收纯化的方法与装置，该方法是：先对来自单晶炉回收的氩气进行粗除油，再经压缩冷却后高精度除油除尘；接着通过高温催化反应使甲烷等烃类和一氧化碳同氧气反应生成水和二氧化碳，催化反应中保证氧气过量；再通过冷却后在催化剂作用下使过量氧气同加入的氢气反应生成水，经过两次催化反应之后的氩气经过常温吸附单元以便吸附水和二氧化碳；将上述氩气冷却后送入低温精馏塔，使氩气与氮气和氢气产生精馏分离，得到纯液氩，再经复热后得到纯氩产品；所述的装置主要包括油过滤器、高温催化氧化一氧化碳和甲烷等烃类的催化反应器、

专利类型：发明专利

专利号：CN201210078306.X

专利申请（专利权）人：杭州杭氧股份有限公司

专利发明（设计）人：周智勇;顾燕新;翟晖;何晖;张振友;夏红丽

主权项：一种单晶硅生产中氩气回收纯化的方法，该方法是：先对来自单晶炉回收的氩气进行粗除油，再经压缩冷却后高精度除油除尘，除去氩气中的油雾核固体颗粒；接着通过高温催化反应使甲烷等烃类和一氧化碳同氧气反应生成水和二氧化碳，催化反应中保证氧气过量；再通过冷却后在催化剂作用下使过量氧气同加入的氢气反应生成水，并保证反应氢气过量，处理后氩气中杂质成分为水、二氧化碳、氢气和氮气；其特征在于经过两次催化反应之后的氩气经过常温吸附单元以便吸附水和二氧化碳，得到只含有氮气和氢气为杂质的氩气；将上述氩气冷却后送入低温精馏塔，使氩气与

专利地区：浙江