一种MEMS扫描微镜光谱仪工作电路专利登记公告

专利名称：一种MEMS扫描微镜光谱仪工作电路

摘要：本发明公布一种MEMS（微电子机械系统）扫描微镜光谱仪工作电路。它主要由振荡信号模块，MEMS微镜驱动控制模块，光谱数据采集模块三个模块组成，其中，光谱数据采集模块由前置放大电路、AD转换电路、FIFO存储器、FPGA（或ARM、单片机）控制电路、USB接口电路组成。MEMS微镜驱动控制模块对MEMS扫描微镜采用闭环控制的方式，使MEMS扫描微镜等幅、等频振动，提高了MEMS扫描微镜光谱仪的波长重复性；振荡电路模块产生的周期性振荡信号，经MEMS微镜驱动控制模块进行处理后，为AD转换电路与MEMS扫描微镜

专利类型：发明专利

专利号：CN201210079028.X

专利申请（专利权）人：重庆大学

专利发明（设计）人：温志渝;张中卫;聂秋玉;王克园

主权项：?一种MEMS扫描微镜光谱仪工作电路，其特征在于；所述工作电路包括振荡信号模块、MEMS微镜驱动控制模块和光谱数据采集模块；其中所述光谱数据采集模块包括探测器的前置放大电路、AD转换电路，FIFO存储器、FPGA控制电路和USB接口电路；所述振荡信号模块的输出端与MEMS微镜驱动控制模块的输入端相连，向所述MEMS微镜驱动控制模块输入具有特定频率的振荡信号，该振荡信号经MEMS微镜驱动控制模块进行信号处理后分为两路，一路为MEMS扫描微镜提供驱动信号，另一路为光谱数据采集模块中的AD转换电路提供周期性触发

专利地区：重庆