一种基片加热装置专利登记公告

专利名称：一种基片加热装置

摘要：一种基片加热装置，包括箱体和基片载板加热架。所述的基片载板加热架安装在所述的箱体内。所述的基片载板加热架上有多个插槽。基片载板加热架安装在两条相对平行的导轨上，在水平方向上往复运动。需要加热的基片通过固定螺钉及基片载板插槽固定在基片载板上，再将基片载板插入基片载板加热架插槽中进行加热。本发明采用电加热方式加热，适用于对批次基片进行同时加热。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210084682.X

专利申请（专利权）人：中国科学院电工研究所

专利发明（设计）人：刁宏伟;王文静;赵雷;周春兰;李海玲

主权项：一种基片加热装置，包括箱体(5)和基片载板加热架，其特征在于，所述的基片载板加热架安装在所述的箱体内，所述的基片载板加热架上有多个插槽；基片载板加热架安装在两条相对平行的导轨上，在水平方向上往复运动；待加热的基片通过固定螺钉及基片载板插槽固定在基片载板上，基片载板插入基片载板加热架插槽中加热。

专利地区：北京