一种提高飞秒激光制备微通道加工效率的方法专利登记公告

专利名称：一种提高飞秒激光制备微通道加工效率的方法

摘要：本发明涉及一种提高飞秒激光制备微通道加工效率的方法，属于飞秒激光应用技术领域。包括如下步骤：步骤一：利用飞秒激光系统产生飞秒脉冲激光，利用半波片和偏振片的组合调整能量，通过脉冲整形器把飞秒激光调制为飞秒间隔的脉冲序列；步骤二：把步骤一所得到的脉冲序列激光通过反射镜反射到物镜中聚焦，并借助CCD和照明光源成像，移动6维精密电控平台，使激光焦点位于水平放置于6维精密电控平台的样品的下表面；步骤三：计算机控制6维精密电控平台沿激光的传播方向运动，即可在样品上加工出微通道。本发明通过脉冲整形器把飞秒激光调制为飞秒

专利类型：发明专利

专利号：CN201210084857.7

专利申请（专利权）人：北京理工大学

专利发明（设计）人：姜澜;刘鹏军;冷妮;徐传彩

主权项：一种提高飞秒激光制备微通道加工效率的方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤一：利用飞秒激光系统1产生飞秒脉冲激光，利用半波片2和偏振片3的组合调整能量，通过脉冲整形器4把飞秒激光调制为飞秒间隔的脉冲序列；步骤二：把步骤一所得到的脉冲序列激光通过反射镜7反射到物镜8中聚焦，并借助CCD?6和照明光源11成像，移动6维精密电控平台10，使激光焦点位于水平放置的样品9的下表面；步骤三：计算机控制6维精密电控平台10沿激光的传播方向运动，即可在样品9上加工出微通道。

专利地区：北京