单片硅麦克风专利登记公告

专利名称：单片硅麦克风

摘要：本发明涉及一种单片硅麦克风，一个单片硅麦克风包括一个第一背板，一个第二背板以及位于第一背板和第二背板间的隔板；第一背板由一个带多穿孔的硅基板支撑。第二背板系在一个穿孔板上，穿孔板支撑在硅基板的上方。单片硅麦克风有集成的信号调节电路。信号调节电路与第一背板、第二背板及隔板间电连接。隔板与第一背板、隔板与第二背板间的信号送入信号调节电路中，并分别进行放大。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210085250.0

专利申请（专利权）人：美国通用微机电系统公司

专利发明（设计）人：王云龙

主权项：一种单片硅麦克风，其特征是：包括一由硅基板支撑的第一背板；一位于穿孔板表面的第二背板；一位于第一背板与第二背板间，并支撑在第一背板上方的隔板；及在所述硅基板上集成的信号调节电路。

专利地区：美国