一种用具有大数值孔径的微透镜阵列制造工艺专利登记公告

专利名称：一种用具有大数值孔径的微透镜阵列制造工艺

摘要：本发明公开了一种具有大数值孔径的微透镜阵列制备工艺，包括如下步骤：(a)制备氧化锌纳米柱；(b)在氧化锌纳米柱表面制备C4F8层；(c)喷墨打印制备微透镜；(d)固化微透镜，采用紫外光源照射和基片加热的方式使步骤(b)中得到的微透镜阵列固化成形。本发明的方法大大降低了现有图形化技术的成本，同时且具有大面积制备的潜力，使微透镜阵列的数值孔径有显著提高，并且喷墨打印是个液滴自然下落和成型过程，制备出的透镜表面粗糙度很低，在实际使用用可以消除噪声等误差。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210086402.9

专利申请（专利权）人：西安交通大学

专利发明（设计）人：王莉;罗钰;丁玉成;魏慧芬;卢秉恒

主权项：一种具有大数值孔径的微透镜阵列制备工艺，其特征在于，包括如下步骤：(a)制备氧化锌纳米柱，在清洗好的基片上制备氧化锌纳米柱；(b)处理氧化锌纳米柱表面，用电感耦合等离子体沉积的方式在氧化锌纳米柱表面制备C4F8层；(c)喷墨打印制备微透镜，在步骤(a)中得到的基片上以喷墨打印技术制备微透镜阵列；(d)固化微透镜，采用紫外光源照射和基片加热的方式使步骤(b)中得到的微透镜阵列固化成形。

专利地区：陕西