一种用于制备硅片表面纳米多孔硅薄膜的溶液及制备方法专利登记公告

专利名称：一种用于制备硅片表面纳米多孔硅薄膜的溶液及制备方法

摘要：本发明公开一种用于制备硅片表面纳米多孔硅薄膜的溶液及制备方法，把硅片置入如下溶液中：包括组分：碳酸盐0-5%，有机醇5-10%，水85-90%，以重量百分比计；所述碳酸盐为碳酸钠或碳酸钾，所述有机醇为三乙醇胺或丙三醇，所述水为去离子水；以硅片为阴极，以惰性电极材料为阳极，在400-800V电压下，处理1-5分钟，取出硅片，即得到双面纳米多孔硅薄膜硅片；该方法与环境兼容性好，因溶液为室温，处理速度快，简化了硅片的处理工序，具有处理效率高、节能、环保的特点；本发明处理后的硅片表面纳米孔的直径和深度根据工艺调整

专利类型：发明专利

专利号：CN201210087658.1

专利申请（专利权）人：河海大学常州校区

专利发明（设计）人：蒋永锋;包晔峰;杨可

主权项：一种用于制备硅片表面纳米多孔硅薄膜的溶液，其特征在于，包括如下组分：碳酸盐0?5%，有机醇5?10%，水85?90%，以重量百分比计；所述碳酸盐为碳酸钠或碳酸钾，所述有机醇为三乙醇胺或丙三醇，所述水为去离子水。

专利地区：江苏