光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置专利登记公告

专利名称：光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置

摘要：光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置，涉及标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置，解决现有采用接触式测量光栅尺标尺光栅的铣磨面直线度时，由于存在测量误差，导致检测数据不准确的问题，LED光源发出的光经过聚光镜聚光后，被分光棱镜向下反射，透过物镜后形成圆形光斑，光斑的一半照在标尺光栅上，另一半照在底座上。标尺光栅处于景深位置，照在其上的光线经反射后，通过物镜、分光棱镜，在CCD上成一清晰明亮的像；底座处于景深之外，照在其上的光线经底座反射后，通过物镜、分光棱镜，在CCD上成一模糊昏暗的像

专利类型：发明专利

专利号：CN201210088597.0

专利申请（专利权）人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

专利发明（设计）人：张吉鹏;孙强;谭向全;卢振武

主权项：光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置，该装置包括底座(1)、底板玻璃(2)、定位柱(3)、三维位移台(10)和光学检测系统，所述光学检测系统包括物镜(5)、分光棱镜(6)、CCD摄像头(7)、聚光镜(8)和LED光源(9)，其特征是，所述LED光源(9)发出的光束经聚光镜(8)聚光后被分光棱镜(6)反射，所述被分光棱镜(6)反射后的光束透过物镜(5)形成圆形光斑，其中一部分圆形光斑照在待测标尺光栅(4)上，另一部分圆形光斑照在底座(1)上，照在待测标尺光栅(4)上的圆形光斑经待测标尺光栅(4

专利地区：吉林