光栅线位移测量方法及测量装置专利登记公告

专利名称：光栅线位移测量方法及测量装置

摘要：本发明涉及一种光栅线位移测量方法及测量装置，该方法首先使扫描单元相对于标尺光栅在测量方向上以设定间隔移动，每移动到一个测量位置，信号处理单元计算出位置原始测量值，同时利用激光测长干涉仪得到位置精确测量值，并由此得到测量误差数据；然后基于误差拟合曲线得到标尺光栅的栅线刻划误差数据，并将其固化于位置误差数据存储单元。实际测量时，光栅线位移测量装置的位置误差修正单元利用误差数据存储单元中的栅线刻划误差数据对信号处理单元计算出的位置原始测量值进行修正，得到位置测量修正值。本发明利用栅线刻划误差数据对光栅线位移测量

专利类型：发明专利

专利号：CN201210088642.2

专利申请（专利权）人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

专利发明（设计）人：吴宏圣;卢振武;乔栋;孙强;赵建;曾琪峰

主权项：一种光栅线位移测量方法，其特征在于包括下述步骤：1)将扫描单元(2)和标尺光栅(1)分别固定于被测物体的可移动部件和不可动部件上，扫描单元(2)可相对于标尺光栅(1)在测量方向上移动；2)扫描单元(2)相对于标尺光栅(1)在测量方向上以设定间隔移动，每移动到一个测量位置，信号处理单元(3)提取并处理扫描单元(2)的光信号接收单元(2_2)形成的编码信号，并基于编码信号计算出可移动部件位置原始测量值Ni，其中i＝0，1，2......n，n为在标尺光栅全长范围内测量数据量的大小；同时，利用激光测长干涉仪(7

专利地区：吉林