一种应用于4f相位相干成像系统的相位光阑专利登记公告
专利名称:一种应用于4f相位相干成像系统的相位光阑
摘要:本发明公开了一种应用于4f相位相干成像系统中的相位光阑,通过将相位光阑中的圆形的统一位相延迟π/2的相位物体改成由两个位相延迟分别为π/4和-π/4正负环形相位物体,使得测量系统的灵敏度得以提高。考虑到相位物体越小受到的边缘衍射效应越大,实际中选取正相位物体与负相位物体把相位光阑分成三等分最合适。本发明改进后的相位光阑在非线性相移-π<ΦNL<π的范围内都可以使系统的测量精度得以提高。对于正的小的非线性相移(ΦNL=0)灵敏度提高可达1.65倍,而对于负的非线性相移灵敏度的提高尤为明显,当ΦNL=-0.6
专利类型:发明专利
专利号:CN201210089204.8
专利申请(专利权)人:常熟微纳激光光子技术有限公司
专利发明(设计)人:宋瑛林;聂仲泉;刘南春;李中国
主权项:一种应用于4f相位相干成像系统的相位光阑,其特征在于,所述相位光阑中处于光阑中心的相位物体由环形相位物体和位于环形相位物体中的圆形相位物体组成。
专利地区:江苏
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