用于印刷头的高密度多层互连专利登记公告

专利名称：用于印刷头的高密度多层互连

摘要：本发明提供了一种用于形成喷墨印刷头的方法，可包括将多个压电元件附着到隔膜、在所述隔膜上施加填隙层以及在所述填隙层上形成多个图案化的导电电迹以物理和电接触所述多个压电元件。所述多个图案化的电迹可利用诸如光刻技术、剥离工艺、激光烧蚀等来形成。所述多个图案化的导电电迹和所述多个压电元件之间的电通信可通过这两个结构之间表面接触来建立，无需单独的导体。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210090475.5

专利申请（专利权）人：施乐公司

专利发明（设计）人：彼得·J·奈斯特龙;马克·A·塞吕拉;加里·D·雷丁

主权项：用于形成喷墨印刷头的方法，包括：将多个压电元件附着到隔膜上；在相邻压电元件之间形成填隙层，其中每个压电元件的表面穿过所述填隙层被暴露；在所述填隙层上形成多个图案化的电迹以电接触所述多个压电元件，其中一个电迹被电耦合到一个压电元件；以及在所述多个电迹上形成介电钝化层。

专利地区：美国