力输入控制器件及其制造专利登记公告

专利名称：力输入控制器件及其制造

摘要：本发明是一种用于感受向量力并将其转换成用于在电子信号处理系统中进行处理的电子信号的力输入控制器件，芯片内的所有元件都用单个半导体基片来制造。这种芯片具有：弹性元件；围绕所述弹性元件的框架；定位在弹性元件上的至少三个机械应力敏感IC元件；刚性支柱，该刚性支柱可把外部向量力传递到弹性元件进而传递到各IC元件，而各IC元件产生输出电信号，刚性支柱的高度高出框架元件的厚度；外部力传递元件，把刚性支柱与外力关联起来；以及用于处理来自机械应力敏感IC元件的输出信号的电子线路。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210099412.6

专利申请（专利权）人：弗拉多米尔·瓦格诺夫

专利发明（设计）人：弗拉多米尔·瓦格诺夫

主权项：一种在单个基片上的用于感受向量力并将其转换成用于处理的电信号的力输入控制器件，该控制器件包括：传感器芯片，该传感器芯片能感受施加于该芯片内的刚性支柱的力的量值和方向，并且还包括联接于力传递刚性支柱的弹性元件、联接于所述弹性元件的周缘的芯片框架、在所述弹性元件上的一个或多个应力敏感元件、信号处理IC，芯片电联接于所述基片，其中，所述芯片的所有元件都形成在单个半导体基片上，其中，所述刚性支柱的高度大于所述框架的厚度和所述弹性元件的厚度之间的差值。

专利地区：美国