一种平面光波导分路器芯片专利登记公告

专利名称：一种平面光波导分路器芯片

摘要：本发明涉及一种平面光波导分路器芯片，属于光无源器件领域。一种平面光波导分路器芯片，包括：基片、沉积于基片上的波导芯层、沉积于波导芯层上的上包层以及蚀刻于波导芯层内的光路，所述芯片采用光刻胶进行蚀刻。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210107134.4

专利申请（专利权）人：四川天邑康和光电子有限公司

专利发明（设计）人：李俊画;马剑

主权项：一种平面光波导分路器芯片，包括：基片(1)、沉积于基片(1)上的波导芯层(2)、沉积于波导芯层(2)上的上包层(3)以及蚀刻于波导芯层(2)内的光路(5)，其特征是：所述光路(5)的输入、输出端设置有与裸纤匹配的输入定位槽(6)和输出定位槽(7)。

专利地区：四川