一种集成电路制造装备通用控制系统专利登记公告

专利名称：一种集成电路制造装备通用控制系统

摘要：本发明提出一种集成电路制造装备通用控制系统，包括：应用层装置，用于接收来自工厂主机的主机控制命令以及用户的配置信息；逻辑层装置，用于接收来自应用层装置的主机控制命令和配置信息，并根据配置信息和主机控制命令生成任务指令；通信层装置，用于接收来自逻辑层装置中硬件设备控制子系统的任务指令，并对该任务指令进行解析封装，并将封装后的任务指令发送给硬件设备以控制硬件设备执行对应的任务。本发明可以将集成电路制造装备控制系统模块化，降低控制系统各模块间的耦合性，提高代码的可阅读性、可维护性和可重用性，增强设备的可替换性，

专利类型：发明专利

专利号：CN201210113197.0

专利申请（专利权）人：清华大学

专利发明（设计）人：徐华;高士云;邓俊辉;邹龙庆;徐敏浩;汤彩霞

主权项：一种集成电路制造装备通用控制系统，其特征在于，包括：应用层装置，用于接收来自工厂主机的主机控制命令以及用户的配置信息，其中，所述应用层装置包括：系统用户界面模块，用于接收用户录入的硬件设备的配置信息；工厂管理接口，用于与所述工厂主机进行通信，并接收来自所述工厂主机的所述主机控制命令，其中所述主机控制命令包括：远程配方编辑指令和设备控制指令；逻辑层装置，用于接收来自所述应用层装置的主机控制命令和所述配置信息，并根据所述配置信息和所述主机控制命令生成任务指令，其中，所述逻辑层装置包括：逻辑层管理模块，用于对所

专利地区：北京