用于处理四氯化硅氢化副产物的设备专利登记公告

专利名称：用于处理四氯化硅氢化副产物的设备

摘要：本发明提供了用于处理四氯化硅氢化副产物的设备。该设备包括：气固分离装置，所述气固分离装置用于对四氯化硅氢化副产物进行气固分离以得到含有三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、氢气的第一气体混合物和固体颗粒；以及热交换装置，所述热交换装置与气固分离装置相连，从气固分离装置接收所述第一气体混合物，并且将第一气体混合物与第二气体混合物进行热交换，以便使得第二气体混合物的温度被提高，其中，第二气体混合物为四氯化硅和氢气的混合物。根据本发明实施例的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，结构简单，操作方便，能耗低，成本低，热量回

专利类型：发明专利

专利号：CN201210118927.6

专利申请（专利权）人：中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司

专利发明（设计）人：张升学;严大洲;肖荣晖;毋克力;汤传斌;杨永亮;万烨

主权项：一种用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，包括：气固分离装置，所述气固分离装置用于对四氯化硅氢化副产物进行气固分离以得到含有三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、氢气的第一气体混合物和固体颗粒；以及热交换装置，所述热交换装置与所述气固分离装置相连，从所述气固分离装置接收所述第一气体混合物，并且将所述第一气体混合物与第二气体混合物进行热交换，以便使得所述第二气体混合物的温度被提高，其中，所述第二气体混合物为四氯化硅和氢气的混合物。

专利地区：北京