一种用于磷化铟制备的高压炉专利登记公告

专利名称：一种用于磷化铟制备的高压炉

摘要：本发明公开了一种用于磷化铟制备的高压炉，包括炉体外壳、炉腔，炉腔内设有加热器，加热器中设有坩埚，加热器与炉体外壳之间设有热保护系统，还包括操作杆，操作杆穿过炉体外壳顶部的第一通孔进入炉腔，第一通孔采用多重高压密封；操作杆上设有推进装置、旋转装置。本发明大大简化了部件结构，满足了高压炉原位合成—引上磷化铟晶棒的工艺要求。?

专利类型：发明专利

专利号：CN201210121250.1

专利申请（专利权）人：南京金美镓业有限公司

专利发明（设计）人：冯先达

主权项：一种用于磷化铟制备的高压炉，包括炉体外壳、炉腔，炉腔内设有加热器，加热器中设有坩埚，加热器与炉体外壳之间设有热保护系统，其特征在于：还包括操作杆，操作杆穿过炉体外壳顶部的第一通孔进入炉腔，第一通孔采用多重高压密封；操作杆上设有推进装置、旋转装置。

专利地区：江苏