一种大行程运动台位移测量方法专利登记公告

专利名称：一种大行程运动台位移测量方法

摘要：一种大行程运动台位移测量方法，该方法包括光路分配装置，位置敏感探测器阵列以及探测头阵列；所述光路分配装置生成的多束第一测量光与所述位置敏感探测器阵列按照一定的方式排布，保证所述运动台在运动区域内任意位置均至少有1束第一测量光被位置敏感探测器阵列检测到；能够判断光束是否被遮挡的所述探测头阵列可用于所述运动台位置的辅助测量；根据上述测量方案，可确定所述位置敏感探测器阵列所测的第一测量光对应的运动台位置，进而解算所述运动台位移量。本发明有效地扩大了位置敏感探测器测量范围，实现了运动台长行程位移量的测量。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210121975.0

专利申请（专利权）人：清华大学

专利发明（设计）人：张鸣;朱煜;刘昊;蒋毅;刘召;杨开明;胡金春;徐登峰;穆海华;尹文生

主权项：一种大行程运动台直线位移测量方法，特征在于该方法包括：1)将光路分配装置(201)固定于运动台(101)上，所述光路分配装置(201)生成多束相互平行的第一测量光(204)，所述第一测量光(204)与水平面平行；2)将多个位置敏感探测器(301)组成线性阵列，固定于基台(102)上，所述位置敏感探测器(301)的工作面和所述基台(102)的水平面垂直；3)所述多束第一测量光(204)与所述位置敏感探测器(301)线性阵列按照一定的方式排布，使得所述运动台(101)在运动区域内至少有1束第一测量光(204)

专利地区：北京