一种硅片切割液回收过程中的脱水工艺专利登记公告

专利名称：一种硅片切割液回收过程中的脱水工艺

摘要：本发明涉及一种硅片切割液回收过程中的脱水工艺，该工艺将未经过脱水的硅片切割液和经过脱水的硅片切割液同时进入板式换热器进行热交换，然后将未经过脱水的硅片切割液送入脱水釜中进行升温脱水，同时将经过板式换热器的脱水后的硅片切割液打入降温釜中降温即可。采用本发明，既给脱水后的硅片切割液进行了冷却降温，又对脱水前的硅片切割液进行了加热升温；经过实际使用对比，使原来放到降温釜的脱水后液的温度从80℃左右直降到60℃以下，原来的脱水前液的温度从30℃左右升高到55℃以上，既缩短了脱水后液的降温时间和冷却循环水的使用，又

专利类型：发明专利

专利号：CN201210122436.9

专利申请（专利权）人：浙江晶盛硅晶材料有限公司

专利发明（设计）人：方汉春;朱荣兴

主权项：一种硅片切割液回收过程中的脱水工艺，其特征在于将未经过脱水的硅片切割液和经过脱水的硅片切割液同时进入板式换热器进行热交换，然后将未经过脱水的硅片切割液送入脱水釜中进行升温脱水，同时将经过板式换热器的脱水后的硅片切割液打入降温釜中降温即可。

专利地区：浙江