超光滑表面缺陷检测系统及其畸变校正方法专利登记公告

专利名称：超光滑表面缺陷检测系统及其畸变校正方法

摘要：本发明提出了一种超光滑表面缺陷检测系统及其畸变校正方法。本发明解决了超光滑表面缺陷检测系统中因为存在光学畸变而造成的子图像拼接时的缺陷断裂问题。本发明的技术特点在于，设计了一种超光滑表面缺陷检测系统和畸变校正标准板及标准板的夹持装置，利用检测系统对标准板采集得到暗场畸变图像，通过该畸变图像和计算机按照物面尺寸和像面像素关系重构的标准板理想图像的匹配建立畸变退化模型，并提出一种基于二次极坐标正反变换和二次灰度线性插值的畸变校正方法。本方法能够校正超光滑表面缺陷检测系统中因畸变造成的相邻子图像的拼接错位，同时

专利类型：发明专利

专利号：CN201210122901.9

专利申请（专利权）人：浙江大学

专利发明（设计）人：杨甬英;王世通;曹频;陈晓钰;卓永模

主权项：一种超光滑表面缺陷检测系统，其特征在于包括二维移导装置(S5)、计算机(S6)、光学显微成像装置(S7)、标准板(S8)和标准板的夹持装置(S9)，光学显微成像装置(S7)包括LED环形照明光源(S2)、变倍显微镜(S3)、CCD探测器(S4)；CCD探测器(S4)、变倍显微镜(S3)、LED环形照明光源(S2)顺次连接组成检测系统的光学显微成像装置(S7)，CCD探测器(S4)通过通信线缆与计算机(S6)相连，光学显微成像装置(S7)安放在二维移导装置(S5)上，二维移导装置(S5)带动光学显微成像装置

专利地区：浙江