大尺寸光学元件高精度调平方法与装置专利登记公告

专利名称：大尺寸光学元件高精度调平方法与装置

摘要：本发明公开了一种大尺寸光学元件高精度调平方法与装置。本发明利用高倍率显微镜对元件表面不同位置的三特征点分别进行连续多幅暗场灰度图像采集，计算图像灰度信息熵值，拟合灰度信息熵值与显微镜轴向移动距离曲线，通过搜寻曲线中极小值的方法，获得正焦位置，获得各特征点离焦量。设计一种两板式弹性预紧，两点调整俯仰与侧摆的调平装置。通过建立离焦量与调整量换算模型，将三特征点处的离焦量换算为两调整点的调整量，进行调平操作。本发明解决了大尺寸光学元件在显微镜全范围扫描检测过程中出现的因光学元件与显微镜焦平面的不平行而造成的离焦

专利类型：发明专利

专利号：CN201210123930.7

专利申请（专利权）人：浙江大学

专利发明（设计）人：杨甬英;曹频;陈晓钰;王世通;卓永模

主权项：一种大口径光学元件高精度调平方法，其特征在于它的步骤如下：1)移动二维导轨(S5)利用高倍显微镜(S11)在光学元件(S2)表面寻找到第一表面特征点(A)；所述的表面特征点指光学元件表面的疵病、擦痕具有信息特征的点；2)利用高倍显微镜(S11)对第一表面特征点(A)进行等步长连续多幅暗场灰度图像采集；所述的暗场灰度图像是指用单束LED冷光源(S1)发射的平行光束照射光学元件(S2)表面的第一表面特征点(A)产生散射光线，散射光线被高倍显微镜(S11)收集，形成暗场灰度图像；3)计算灰度图像的灰度信息熵H1

专利地区：浙江