一种制备锡硫化合物叠层太阳能电池的方法专利登记公告

专利名称：一种制备锡硫化合物叠层太阳能电池的方法

摘要：本发明公开了一种制备锡硫化合物叠层太阳能电池的方法，其通过在薄膜制备过程中通入氢气的方法进行p型或n型锡硫薄膜的沉积，通过薄膜的叠加，从而制备出锡硫叠层薄膜太阳电池。利用等离子体化学气相沉积的方法，通过控制通入氢气的流量、时间以及加入的原料的量或配比等各工艺参数，调节沉积过程中腔体中硫和锡元素的配比，进而调节制备出的薄膜中两种元素的配比，可以对沉积的各层薄膜的厚度和禁带宽度进行控制，得到较为理想的锡硫叠层薄膜太阳电池。本发明制备工艺简单，在同一设备中即可完成，避免了掺杂较为复杂的工艺，降低了生产成本，缩短

专利类型：发明专利

专利号：CN201210125996.X

专利申请（专利权）人：华中科技大学

专利发明（设计）人：刘明海;程莉莉;王士才;王曼星

主权项：一种制备锡硫化合物叠层太阳能电池的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)清洗沉积有透明导电膜的基片；(2)将清洗后的基片置于等离子体化学气相沉积系统的腔体内的基片加热装置上；(3)将含锡和硫的原料置于等离子体化学气相沉积系统的腔体内的原料蒸发装置中；(4)通入氩气，以产生氩气等离子体，通入氩气流量为20～70sccm；(5)利用氩气等离子体对清洗后的基片和等离子体化学气相沉积系统的腔体处理10～20分钟，氩气等离子体的功率为10～50W，处理时的压强为30～100Pa；(6)打开基片加热装置，对基片进行加

专利地区：湖北