一种触针式轮廓仪传感器非线性误差的校正方法专利登记公告

专利名称：一种触针式轮廓仪传感器非线性误差的校正方法

摘要：本发明公开了一种触针式轮廓仪传感器非线性误差的校正方法，包括：调整轮廓仪传感器的位置，使其触针与垂直微位移工作台的工作面相接触，确定垂直微位移工作台在垂直方向上运动的距离以及采样间距，通过计算机和控制箱后发出信号来带动轮廓仪传感器的触针运动，垂直微位移工作台上的激光测距仪分别根据信号测量垂直微位移工作台在垂直方向上相对于初始位置的位移量，同时轮廓仪传感器的计量系统分别根据信号测量轮廓仪传感器的触针在垂直方向上相对于初始位置的位移值，将两组数据以一一对应的方式保存在垂直方向的误差查找表中。本发明使用简单、效

专利类型：发明专利

专利号：CN201210125998.9

专利申请（专利权）人：华中科技大学

专利发明（设计）人：衷颖杰;常素萍;谢铁邦;卢文龙

主权项：一种触针式轮廓仪传感器非线性误差的校正方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)调整轮廓仪传感器的位置，使其触针与垂直微位移工作台的工作面相接触；(2)确定垂直微位移工作台在垂直方向上运动的距离Y以及采样间距y；(3)通过计算机和控制箱后发出信号1、2、...、n来控制垂直微位移工作台的电机转动，电机带动垂直微位移工作台上下运动，从而带动轮廓仪传感器的触针运动，其中n＝Y/y；(4)垂直微位移工作台上的激光测距仪分别根据信号1、2、...、n测量垂直微位移工作台在垂直方向上相对于初始位置的位移量y1、...、

专利地区：湖北