ZrCN纳米复合膜及其制备方法专利登记公告

专利名称：ZrCN纳米复合膜及其制备方法

摘要：本发明公开了一种ZrCN纳米复合膜，采用双靶射频反应溅射法以不锈钢为基底层制备得到，ZrCN纳米复合膜厚度为1~3微米，7.2at.%≤C≤11.9at.%，(C+N)/Zr原子比小于1，C进入ZrN晶格间隙完全形成间隙固溶体，ZrCN纳米复合膜的硬度≥29GPa；或者13.2at.%≤C≤15.4at.%，?(C+N)/Zr原子比大于1，C除了进入ZrN晶格间隙形成间隙固溶体外，多余的C形成非晶CN或C单质，ZrCN纳米复合膜的硬度≥18.5GPa。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210128160.5

专利申请（专利权）人：江苏科技大学

专利发明（设计）人：喻利花;许俊华;马冰洋

主权项：一种ZrCN纳米复合膜，采用双靶射频反应溅射法以不锈钢为基底层制备得到，其特征在于，ZrCN纳米复合膜厚度为1~3微米，?7.2?at.%≤C≤11.9?at.%，(C+N)/Zr原子比小于1，C进入ZrN晶格间隙完全形成间隙固溶体，ZrCN纳米复合膜的硬度≥29GPa；或者13.2?at.%≤C≤15.4?at.%?，(C+N)/Zr原子比大于1，C除了进入ZrN晶格间隙形成间隙固溶体外，多余的C形成非晶CN或C单质，ZrCN纳米复合膜的硬度≥18.5GPa。

专利地区：江苏