一种相位调制光栅传感器及实现测量的方法专利登记公告

专利名称：一种相位调制光栅传感器及实现测量的方法

摘要：本发明公开了一种相位调制光栅传感器及实现测量的方法，基于PZT对光栅测量信号进行相位调制，避免直流漂移和幅值波动对纳米测量信号的影响；采用嵌入误差检测模块实时补偿光栅传感器对位误差，实现纳米精度的位移和长度测量。包括光路部分和信号处理部分。本发明简化了安装调整，减小了冗余反射光束，改善了信号品质，还降低了环境对系统的干扰，基于FPGA信号处理部分，可以提高系统信号处理速度，通过相位解调，可有效避免直流漂移和幅值波动对测量信号的影响，可实现纳米精度的测量。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210128722.6

专利申请（专利权）人：夏豪杰

专利发明（设计）人：夏豪杰

主权项：一种相位调制光栅传感器，其特征在于：包括光路部分和信号处理部分，所述的光路部分包括有反射光栅尺、遮光板、两个反射镜、三个四分之一波片、两个偏振分光镜、半导体激光器、光电信号检测器、压电陶瓷促动器和四象限探测器，第一个偏振分光镜的分光面正对所述半导体激光器的出光口，所述的三个四分之一波片分别放置在所述分光面的对称面以及与所述分光面相邻的两个相互对称面的前面且三个四分之一波片的快轴方向为45度，所述两个反射镜的位置相对称，且其中一个反射镜粘贴在所述压电陶瓷促动器上，所述的半导体激光器发出的激光束入射到所述第一

专利地区：安徽