二硫化钼氮化钛复合薄膜及其制备方法专利登记公告
专利名称:二硫化钼氮化钛复合薄膜及其制备方法
摘要:本发明涉及一种二硫化钼氮化钛复合薄膜,其复合薄膜由下至上分别包括钛的扩散过渡层、氮化钛支持层以及二硫化钼氮化钛复合层,钛的扩散过渡层的厚度为250~1300nm,氮化钛支持层的厚度为500~800nm,二硫化钼氮化钛复合层的厚度为1000~1800nm。本发明结构简单、设计科学合理、制作简单、成本较低,而且本类金刚石薄膜制备方法得到的类金刚石薄膜结合力强、韧性好、密度高。
专利类型:发明专利
专利号:CN201210132036.6
专利申请(专利权)人:赛屋(天津)涂层技术有限公司
专利发明(设计)人:甄洪宾
主权项:一种二硫化钼氮化钛复合薄膜,其特征在于:该复合薄膜由下至上分别包括钛的扩散过渡层、氮化钛支持层以及二硫化钼氮化钛复合层,钛的扩散过渡层的厚度为250~1300nm,氮化钛支持层的厚度为500~800nm,二硫化钼氮化钛复合层的厚度为1000~1800nm。
专利地区:天津
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