一种高分辨率投影光学系统专利登记公告

专利名称：一种高分辨率投影光学系统

摘要：本发明提出了一种高分辨率投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该高分辨率投影光学系统，沿其光轴方向包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)和第四透镜单元(L4)。从光束入射方向依次排布的第一透镜单元(L1)具有负折光力，第二透镜单元(L2)具有正折光力，第三透镜单元(L3)具有负折光力，第四透镜单元(L4)具有正折光力。且所述的投影光学系统中含有4个非球面。本发明的高分辨率投影光学系统能更好的提供像质、缩短总长、减小透镜口径、提升系统分辨率。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210132632.4

专利申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所

专利发明（设计）人：白瑜;邢廷文;朱红伟;廖志远;刘志祥

主权项：一种高分辨率投影光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)和第四透镜单元(L4)，所述透镜单元均处于同一光轴，其特征在于，第一透镜单元(L1)具有负折光力，第二透镜单元(L2)具有正折光力，第三透镜单元(L3)具有负折光力，第四透镜单元(L4)具有正折光力。

专利地区：四川