基于MEMS技术的盐度检测传感器及其检测方法专利登记公告

专利名称：基于MEMS技术的盐度检测传感器及其检测方法

摘要：本发明提供了一种基于MEMS技术的盐度检测传感器，微波信号源（102）连接到环形电桥（101）的第一端口（1），传感电极（104）连接到环形电桥（101）的第二端口（2），第一MEMS终端式微波功率传感器（1031）和第二MEMS终端式微波功率传感器（1032）分别连接到环形电桥（101）的第三端口（3）和第四端口（4）。本发明还提供了一种基于MEMS技术的盐度检测方法。本发明解决了盐溶液中电容效应对检测的各种不利影响，并具有高的可靠性、高的重复性、优异的性能、快的响应速度、小的体积、低的生产成本等特点。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210133581.7

专利申请（专利权）人：东南大学

专利发明（设计）人：黄庆安;韩磊;殷刚毅

主权项：?一种基于MEMS技术的盐度检测传感器，其特征在于：该传感器包括微波信号源（102）、环形电桥（101）、传感电极（104）以及第一MEMS终端式微波功率传感器（1031）和第二MEMS终端式微波功率传感器（1032）；环形电桥（101）设有四个端口，即第一端口（1），第二端口（2），第三端口（3），第四端口（4）；?微波信号源（102）连接到环形电桥（101）的第一端口（1），传感电极（104）连接到环形电桥（101）的第二端口（2），第一MEMS终端式微波功率传感器（1031）和第二MEMS终端式微波

专利地区：江苏