一种测试高纯管道吹扫效果的方法专利登记公告

专利名称：一种测试高纯管道吹扫效果的方法

摘要：本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种测试高纯管道吹扫效果的方法。本发明提出一种测试高纯管道吹扫效果的方法，通过根据特气管路中阀门分歧箱布局的不同进行分类，并选择最末端的阀门分歧箱作为测试对象，测试管路内的水份、氧份和颗粒来判断吹扫后管路的洁净度，并抽查除已检测过的阀门分歧箱之外进行抽查；这样，不仅明确了测试管道的内容和指标，还可避免时间、人力和财力的浪费，使得测试数量最小化，同时还能有效控制测试风险，增大产品良率。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210135996.8

专利申请（专利权）人：上海华力微电子有限公司

专利发明（设计）人：孔雄;张悦;邹秀平;蔡虎军

主权项：一种测试高纯管道吹扫效果的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：根据特气管路中阀门分歧箱的布局，选择最末端的阀门分歧箱作为第一检测的测试点；步骤S2：对特气管路吹扫后，进行各个测试点的第一检测；步骤S3：若第一检测结果不合格，则依次循环重复步骤S1和步骤S2，直至第一检测结果合格；若第一检测结果合格，则抽检除已进行第一检测过的阀门分歧箱进行第二检测；步骤S4：若第二检测结果不合格，则对该不合格管路进行吹扫，并在吹扫后对该不合格管路中所有阀门分歧箱进行第三检测，若第三检测结果不合格则再次对该不合格管路进

专利地区：上海