低成本、批量化微棱镜模具的设计方法专利登记公告

专利名称：低成本、批量化微棱镜模具的设计方法

摘要：低成本、批量化微棱镜模具的设计方法，涉及微流控芯片领域，解决现有加工棱镜模具采用的机械加工方法，使棱镜表面粗糙度大，且加工成本高，不便于批量化生产的问题，本发明利用表面光洁的硅片，结合光刻、ICP等MEMS技术，加工出所需角度棱镜左侧面、右侧面、斜面以及后直面等不同面的微小硅片，并且在左侧面和右侧面上刻有角度微型沟槽、竖直微型沟槽与角度标示孔，通过微型沟槽将各个硅片斜面和模具硅片后直面简单地拼接组装，实现微小型棱镜模具的制作，本发明所述的方法使用简单、成本低，易于批量化生产；本发明所述方法还可以应用于其他

专利类型：发明专利

专利号：CN201210137051.X

专利申请（专利权）人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

专利发明（设计）人：吴一辉;周文超;张平;刘永顺;刘桂根;李凯伟;郝鹏

主权项：低成本、批量化微棱镜模具的设计方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：步骤一、选择四片硅片分别制作棱镜模具左侧面（1）、棱镜模具右侧面（2）、棱镜模具斜面（3）和棱镜模具后直面（4）；在所述棱镜模具左侧面（1）和棱镜模具右侧面（2）上分别刻蚀角度标示孔（1?1）、角度微型沟槽（1?2）和竖直微型沟槽（1?3）；在所述棱镜模具后直面（4）上刻蚀后直面标示孔（1?4）；步骤二、选择棱镜模具的定位硅片（5），并在所述定位硅片（5）上刻蚀四边形定位孔5?1和用于棱镜与PDMS微流控芯片探测池定位的芯片定位圆孔（5?

专利地区：吉林