提高超分辨相位板光斑性能的装置专利登记公告

专利名称：提高超分辨相位板光斑性能的装置

摘要：一种提高超分辨相位板光斑性能的装置，特征在于其构成：沿光束前进方向依次是三环纯相位型超分辨相位板、数值孔径NA=0.95的物镜、Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜，所述的三环纯相位型超分辨相位板的归一化半径为r1=0.13，r2=0.47，r3=1；三区的位相分别为：φ1=0，φ2=π，φ3=0；所述的物镜与所述的三环纯相位型超分辨相位板紧贴，所述的Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜位于所述的物镜的焦平面，该Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜的厚度的选择范围为10~100nm，非线性饱和吸收薄膜的线性吸收系数和非线性

专利类型：发明专利

专利号：CN201210138157.1

专利申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所

专利发明（设计）人：查一昆;魏劲松;干福熹

主权项：一种提高超分辨相位板光斑性能的装置，特征在于其构成：沿光束前进方向依次是三环纯相位型超分辨相位板(1)、数值孔径NA=0.95的物镜(2)、Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜(3)，所述的三环纯相位型超分辨相位板（1）的归一化半径为r1=0.13，r2=0.47，r3=1；三区的位相分别为：φ1=0，φ2=π，φ3=0；所述的物镜(2)与所述的三环纯相位型超分辨相位板(1)紧贴，所述的Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜(3)位于所述的物镜(2)的焦平面，该Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜的厚度的选择范围为10~10

专利地区：上海