共焦系统球差测量方法专利登记公告

专利名称：共焦系统球差测量方法

摘要：本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种共焦系统球差测量方法。该方法将环形光瞳滤波技术和共焦定焦技术融合，测得当不同通光高度的环形光束通过被测系统后其聚焦焦点移动的距离，进而得到被测系统的球差。本发明首次将共焦测量技术扩展到系统球差测量领域，具有测量精度高、光路简单、抗环境干扰能力强等优点，可用于系统球差的高精度检测。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210140645.6

专利申请（专利权）人：北京理工大学

专利发明（设计）人：邱丽荣;赵维谦;杨佳苗;吴华玲;邵荣君;李志刚

主权项：共焦系统球差测量方法，其特征在于：(a)打开点光源，其发出的光经分光镜、准直透镜、环形光瞳和被测系统后照射在平面反射镜上，由平面反射镜的表面反射，反射回来的光经被测系统、环形光瞳和准直透镜后由分光镜反射进入共焦测量系统；(b)调整被测系统，使其与准直透镜共光轴，准直透镜将点光源产生的光准直成平行光，平行光通过环形光瞳后形成环形光束照射在被测系统上，由被测系统会聚形成测量光束照射在平面反射镜上，调整平面反射镜，使其与准直透镜共光轴；(c)沿光轴方向移动平面反射镜，使测量光束的聚焦焦点与平面反射镜表面接近，在

专利地区：北京