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带有多晶硅片的节能型多晶硅还原炉的保温内胆及实施方法专利登记公告


专利名称:带有多晶硅片的节能型多晶硅还原炉的保温内胆及实施方法

摘要:本发明公开了一种带有多晶硅片的节能型多晶硅还原炉的保温内胆及实施方法,在内胆内壁面上安装多晶硅插片或者多晶硅挂片。内胆由5~30mm的钢板制成,内胆的高度与还原炉钟罩的高度相匹配;内胆底边为正多边形,边长为100mm~1000mm,比还原炉内径小25~500mm;内胆与炉体底盘连接;在内胆内壁面上设置有多晶硅插片或挂片。本发明隔热层与还原炉炉体之间的空隙内的氢气或者四氯氢硅,由于其热导性差,从而可以起到很好的隔热作用,减少了高温硅棒到内壁面的辐射热量,降低了还原炉内的能耗损失。炉内原料气可以在多晶硅插片上

专利类型:发明专利

专利号:CN201210141928.2

专利申请(专利权)人:天津大学

专利发明(设计)人:刘春江;周阳;段连;黄哲庆;段长春;袁希钢

主权项:一种带有多晶硅片的节能型多晶硅还原炉的保温内胆,其特征是在内胆内壁面上安装多晶硅插片或者多晶硅挂片。

专利地区:天津