一种节能型多晶硅还原炉的内胆双层结构及其实施方法专利登记公告

专利名称：一种节能型多晶硅还原炉的内胆双层结构及其实施方法

摘要：本发明公开一种节能型多晶硅还原炉的内胆双层结构及其实施方法，多晶硅还原炉内胆包括内壁和外壁两层结构，内壁和外壁之间的空隙与内胆顶部底板与顶板之间的区域相连通；内壁与外壁之间空隙的宽度为5mm-50mm。多晶硅还原炉内胆的内壁与外壁之间通入高纯三氯氢硅液体，由于还原炉内的大量热量辐射到内胆的侧面，液态三氯氢硅受热挥发，挥发产生的气体流入内胆顶部底板与顶板之间的区域。内胆双层结构可以大大降低硅棒向钟罩内壁的辐射能量，钟罩内壁由于温度较低不会沉积硅粉，保持了钟罩内壁的抛光效果，还可以减少多晶硅还原炉钟罩冷却水的

专利类型：发明专利

专利号：CN201210142899.1

专利申请（专利权）人：天津大学

专利发明（设计）人：王晓静;段连;周阳;黄哲庆;段长春;刘春江

主权项：一种节能型多晶硅还原炉的内胆双层结构，其特征是多晶硅还原炉内胆包括内壁（20）和外壁（21）两层结构，内壁（20）和外壁（21）之间的空隙与内胆顶部底板（22）与顶板（23）之间的区域相连通，在内壁（20）和顶部底板（22）连接以及外壁（21）和顶部顶板（23）连接的位置连通，内壁（20）与外壁（21）之间空隙的宽度为5mm?50mm，底板（22）和顶板（23）的间距为100mm?300mm。

专利地区：天津