一种检测掩模版索引器的方法专利登记公告

专利名称：一种检测掩模版索引器的方法

摘要：本发明提供一种检测掩模版索引器的方法，能够在索引器工作状态下检测索引器的运行状况，该方法是非破坏性的，不需要拆开机器对各部分进行检测，通过本发明的方法能够对索引器及时维护和检修，以避免出现不必要的故障。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210142934.X

专利申请（专利权）人：上海宏力半导体制造有限公司

专利发明（设计）人：丁炯;曹圣豪;陆成;徐刚

主权项：一种检测掩模版索引器的方法，其特征在于，包括：确定索引器的警戒值和危险值，所述警戒值是索引器正常工作情况下的最大电流值，所述危险值是索引器在超载情况下的最小电流值；在索引器工作状态下用万用表测量索引器输入输出两端的电流；将所测得的电流值与警戒值及危险值进行比较，当所述索引器的电流超过警戒值，则将在未来2个月~4个月内对索引器进行检查；当所述索引器的电流达到或超过危险值，将在未来1个星期~2个星期内对索引器进行检查，确定索引器的各个部件磨损状况是否都正常。

专利地区：上海