清洗装置专利登记公告

专利名称：清洗装置

摘要：本发明涉及一种清洗装置，包括用于清洗晶圆的清洗槽，还包括置于清洗槽内的：毛刷装置，用于夹持并刷洗晶圆；喷淋装置，位于毛刷装置的上方；滚筒，位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆滚筒，位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆,所述滚筒由皮带带动；检测装置，用于检测所述皮带是否断裂。本发明采用一检测装置检测带动滚筒转动的皮带的工作状态，及时发现皮带断裂导致滚筒的不转动现象，避免晶圆在洗刷过程中因滚筒不转动带来的不旋转，进而避免毛刷洗刷晶圆表面不均匀所带来的晶圆表面缺陷，从而提高产品质量，减少损失。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210142944.3

专利申请（专利权）人：上海宏力半导体制造有限公司

专利发明（设计）人：董呈龙

主权项：一种清洗装置，包括用于清洗晶圆的清洗槽，其特征在于，还包括置于清洗槽内的：毛刷装置，用于夹持并刷洗晶圆；喷淋装置，位于毛刷装置的上方；滚筒，位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆,所述滚筒由皮带带动；检测装置，用于检测所述皮带是否断裂。

专利地区：上海