一种制备硒化锌光电薄膜的方法专利登记公告

专利名称：一种制备硒化锌光电薄膜的方法

摘要：一种硒化锌薄膜的制备方法，属于光电薄膜制备技术领域，本发明通过如下步骤得到，首先清洗基片，然后将ZnCl2、SeO2放入溶剂中，采用旋涂法在基片上得到前驱体薄膜，烘干，放入有水合联氨的可密闭容器中，使前驱体薄膜样品不与联氨接触，最后进行干燥，得到硒化锌光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件，对仪器设备要求低，生产成本低，生产效率高，易于操作。所的硒化锌光电薄膜有较好的连续性和均匀性，这种新工艺容易控制目标产物的成分和结构，为制备高性能的硒化锌光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的制备方法。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210147025.5

专利申请（专利权）人：山东建筑大学

专利发明（设计）人：刘科高;刘宏;孙昌;许斌;石磊;纪念静

主权项：一种制备硒化锌光电薄膜的方法，包括如下顺序的步骤：a.玻璃基片或硅基片的清洗；b.将2.0～7.0份ZnCl2、1.0～2.0份SeO2放入30～120份的溶剂中，使溶液中的物质均匀混合；c.制作外部均匀涂布步骤b所述溶液的基片，并烘干，得到前驱体薄膜样品；d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上，放入有水合联氨的可密闭容器，使前驱体薄膜样品不与联氨接触，将装有前躯体薄膜样品的密闭容器放入烘箱中，加热至160～220℃之间，保温时间10～60h小时，然后冷却到室温取出；e.将步骤d所得产物，进行自然干燥，

专利地区：山东