多晶硅回蚀溶液及其用途专利登记公告

专利名称：多晶硅回蚀溶液及其用途

摘要：本发明公开了一种多晶硅回蚀溶液，由氢氧化钠、次氯酸钠、硅酸钠、有机酸或有机醇及余量的水组成。本发明不改变多晶硅片表面的颜色。从扫描电镜中观察，回蚀后的绒面形貌与回蚀前几乎没有差别。将扩散后的多晶硅片浸泡于回蚀溶液中，使得低薄层电阻的硅片被回蚀到高薄层电阻，且高薄层电阻的均匀性在90%以上。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210149344.X

专利申请（专利权）人：韩华新能源（启东）有限公司

专利发明（设计）人：沈专;林佳继;黄路遥;戴燕华;朱琛;赵同荣

主权项：一种多晶硅回蚀溶液，其特征是：由下列体积百分比的成分混合组成：氢氧化钠???0.03%~0.5%?次氯酸钠???0.02%~0.5%硅酸钠?????0.01%~0.5%?有机酸或有机醇???0.005%~0.1%余量为水。

专利地区：江苏